SUBSTRATE PEDESTAL MODULE INCLUDING BACKSIDE GAS DELIVERY TUBE AND METHOD OF MAKING
Номер патента: US20160333475A1
Опубликовано: 17-11-2016
Автор(ы): Gomm Troy Alan, JR. Nick Ray, Linebarger
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-11-2016
Автор(ы): Gomm Troy Alan, JR. Nick Ray, Linebarger
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate pedestal for improved substrate processing
Номер патента: US11984305B2. Автор: Venkata Sharat Chandra PARIMI,Vinay K. PRABHAKAR,Viren KALSEKAR. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-14.