Membrane probe with anchored elements
Номер патента: US6881072B2
Опубликовано: 19-04-2005
Автор(ы): Frank D. Egitto, Keith J. Miller, Manh-Quan T. Nguyen
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-04-2005
Автор(ы): Frank D. Egitto, Keith J. Miller, Manh-Quan T. Nguyen
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for constructing a membrane probe using a depression
Номер патента: US6578264B1. Автор: Kenneth Smith,Reed Gleason,Michael A. Bayne. Владелец: CASCADE MICROTECH INC. Дата публикации: 2003-06-17.