Chemical liquid supply unit, substrate processing apparatus having the same, and chemical liquid supply method
Номер патента: US20230158533A1
Опубликовано: 25-05-2023
Автор(ы): Joo Sung Lee, Kang Suk Lee, Soon Kab KWON
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-05-2023
Автор(ы): Joo Sung Lee, Kang Suk Lee, Soon Kab KWON
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Номер патента: US20230241636A1. Автор: Yoko TAKAKITA. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2023-08-03.