Sulfonamide-containing photoresist compositions and methods of use
Номер патента: US9223209B2
Опубликовано: 29-12-2015
Автор(ы): Daniel Paul Sanders, Masaki Fujiwara, Yoshiharu Terui
Принадлежит: Central Glass Co Ltd, International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-12-2015
Автор(ы): Daniel Paul Sanders, Masaki Fujiwara, Yoshiharu Terui
Принадлежит: Central Glass Co Ltd, International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Sulfonamide-containing photoresist compositions and methods of use
Номер патента: TW201142512A. Автор: Daniel Paul Sanders,Masaki Fujiwara,Yoshiharu Terui. Владелец: Central Glass Co Ltd. Дата публикации: 2011-12-01.