Procedimiento para la formacion de un revestimiento sobre un substrato por pulverizacion catodica reactiva.
Номер патента: ES2107786T3
Опубликовано: 01-12-1997
Автор(ы): Alain Weymeersch, Brande Pierre Vanden, Lucien Renard, Rene Winand, Stéphane Lucas
Принадлежит: Cockerill Sambre SA
Опубликовано: 01-12-1997
Автор(ы): Alain Weymeersch, Brande Pierre Vanden, Lucien Renard, Rene Winand, Stéphane Lucas
Принадлежит: Cockerill Sambre SA
Реферат: PROCESO PARA LA FORMACION DE UN REVESTIMIENTO (5) SOBRE UN SUSTRATO (3) POR PULVERIZACION CATODICA REACTIVA ("SPUTTERING" EN UN RECINTO CERRADO (1) EN PRESENCIA DE UN PLASMA DE UN GAS NO REACTIVO Y DE UN GAS REACTIVO QUE CONTIENE EL O LOS ELEMENTOS DE LOS QUE DEBE ESTAR FORMADO EL REVESTIMIENDO CITADO, SEGUN EL CUAL SE HACE USO DE UN BLANCO (2) QUE PRESENTA UNA CAPA SUPERFICIAL (4) ORIENTADA HACIA EL SUSTRATO Y QUE CONTIENE AL MENOS UNO DE LOS ELEMENTOS A DEPOSITAR, SEGUN EL CUAL SE CONTROLA EL ESPESOR DE ESTA CAPA SUPERFICIAL (4) A LO LARGO DE LA PULVERIZACION CATODICA POR UN AJUSTE DE LA CONCENTRACION DE LOS GASES EN EL RECINTO CERRADO CITADO.
Procedimiento y dispositivo para la formacion de un revestimiento sobre un substrato por pulverizacion catodica.
Номер патента: ES2200203T3. Автор: Pierre Vanden Brande,Alain Weymeersch. Владелец: Cockerill Sambre SA. Дата публикации: 2004-03-01.