Verfahren zum herstellen einer mikromechanischen vorrichtung, mikromechanisches ventil und mikropumpe
Номер патента: DE102019208023B4
Опубликовано: 04-01-2024
Автор(ы): Henry Leistner, Jürgen Kruckow, Martin Richter, Martin Wackerle
Принадлежит: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
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Автор(ы): Henry Leistner, Jürgen Kruckow, Martin Richter, Martin Wackerle
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Verfahren zum herstellen einer mikropumpe sowie mikropumpe
Номер патента: EP2232070A1. Автор: Franz Laermer,Michael Stumber,Julia Cassemeyer,Ralf Reichenbach. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2010-09-29.