Dispositif de lithographie par faisceau d'electrons a platine mobile et a balayage par trame employant un circuit de correction approximative
Номер патента: FR2512587B1
Опубликовано: 05-12-1986
Автор(ы): Billy W Ward, William D Wells
Принадлежит: Varian Associates Inc
Опубликовано: 05-12-1986
Автор(ы): Billy W Ward, William D Wells
Принадлежит: Varian Associates Inc
Dispositif de lithographie par faisceau d'electrons a platine mobile et a balayage par trame employant un circuit de correction approximative
Номер патента: FR2512587A1. Автор: Billy W Ward,William D Wells. Владелец: Varian Associates Inc. Дата публикации: 1983-03-11.