Ultrasonic device for cleaning and ultrasonic cleaning system using the same
Номер патента: KR100748480B1
Опубликовано: 10-08-2007
Автор(ы): 김현세, 이양래, 임의수
Принадлежит: 한국기계연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-08-2007
Автор(ы): 김현세, 이양래, 임의수
Принадлежит: 한국기계연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electrostatic substrate cleaning system and method
Номер патента: US12009227B2. Автор: Shai MARK,Adi Pahima. Владелец: KLA Corp. Дата публикации: 2024-06-11.