Purge system to clean wafer backside for ring susceptor
Номер патента: US20240258097A1
Опубликовано: 01-08-2024
Автор(ы): Aniketnitin Patil
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-08-2024
Автор(ы): Aniketnitin Patil
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Recirculation substrate container purging systems
Номер патента: US09868140B2. Автор: Lutz Rebstock. Владелец: Brooks Automation Inc. Дата публикации: 2018-01-16.