연마 장치, 제어 방법 및 기록매체에 저장된 프로그램
Номер патента: KR20170073489A
Опубликовано: 28-06-2017
Автор(ы): 게이스케 나미키, 마코토 후쿠시마, 사토루 야마키, 신고 도가시, 신타로 이소노, 오사무 나베야, 호즈미 야스다
Принадлежит: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Опубликовано: 28-06-2017
Автор(ы): 게이스케 나미키, 마코토 후쿠시마, 사토루 야마키, 신고 도가시, 신타로 이소노, 오사무 나베야, 호즈미 야스다
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Polishing apparatus, information processing system, polishing method, and computer-readable storage medium
Номер патента: US11897078B2. Автор: Akira Nakamura,Hisanori Matsuo,Yuta Suzuki,Tsuneo Torikoshi,Takahito Kagoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-02-13.