Active gas generation device
Номер патента: EP4072249A1
Опубликовано: 12-10-2022
Автор(ы): Kensuke Watanabe, Ren Arita
Принадлежит: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-10-2022
Автор(ы): Kensuke Watanabe, Ren Arita
Принадлежит: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Active gas generation apparatus
Номер патента: US12074012B2. Автор: Kensuke Watanabe,Ren Arita. Владелец: TMEIC Corp. Дата публикации: 2024-08-27.