Substrate treating apparatus and substrate transporting method
Номер патента: US20150279713A1
Опубликовано: 01-10-2015
Автор(ы): Kazuhiro Nishimura, Yoshinori Kokabu
Принадлежит: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2015
Автор(ы): Kazuhiro Nishimura, Yoshinori Kokabu
Принадлежит: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treating apparatus and substrate transporting method
Номер патента: US10181417B2. Автор: Kazuhiro Nishimura,Yoshinori Kokabu. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-15.