Substrate treating apparatus
Номер патента: US12083563B2
Опубликовано: 10-09-2024
Автор(ы): Hiromichi KABA, Kazuhiko Nakazawa, Takuya Sato, Toshihito MORIOKA, Yuichi Takayama
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-09-2024
Автор(ы): Hiromichi KABA, Kazuhiko Nakazawa, Takuya Sato, Toshihito MORIOKA, Yuichi Takayama
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Support unit and substrate treating apparatus
Номер патента: US20230307260A1. Автор: Do Yeon Kim,Hyun Yoon,Ho Jong Hwang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.