Substrate treating apparatus, and a substrate transporting method therefor
Номер патента: US20090162172A1
Опубликовано: 25-06-2009
Автор(ы): Yukiteru MIYAMOTO
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-06-2009
Автор(ы): Yukiteru MIYAMOTO
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate transporting device, substrate treating apparatus, and substrate transporting method
Номер патента: US20190043738A1. Автор: Joji KUWAHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-02-07.