Control method for support unit, substrate treating method and substrate treating apparatus
Номер патента: US20240222099A1
Опубликовано: 04-07-2024
Автор(ы): Chung Woo Lee, Yun Sik JU
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-07-2024
Автор(ы): Chung Woo Lee, Yun Sik JU
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treating system
Номер патента: US20130079914A1. Автор: Hideki Shibata. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-03-28.