Cooling unit, substrate treating apparatus including the same, and substrate treating method using the same
Номер патента: US12025921B2
Опубликовано: 02-07-2024
Автор(ы): Jong Seok SEO, Jun Ho Kim, Sang Hoon Lee
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-07-2024
Автор(ы): Jong Seok SEO, Jun Ho Kim, Sang Hoon Lee
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treating apparatus and substrate treating method
Номер патента: US20220390848A1. Автор: Tae Hee Kim,Ki Hoon Choi,Young Dae Chung,Se Hoon Oh,Young Eun JEON. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-08.