기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법
Номер патента: KR20220089820A
Опубликовано: 29-06-2022
Автор(ы): 박완재, 이재후, 주윤종, 한민성
Принадлежит: 세메스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-06-2022
Автор(ы): 박완재, 이재후, 주윤종, 한민성
Принадлежит: 세메스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
Номер патента: US11778890B2. Автор: Mu-Hyun Kim,Un-Cheol Sung,Su-Hwan Lee,Dong-Kyu Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-03.