Method and system for zone axis alignment
Номер патента: US11024480B2
Опубликовано: 01-06-2021
Автор(ы): Zhenxin Zhong
Принадлежит: FEI Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-06-2021
Автор(ы): Zhenxin Zhong
Принадлежит: FEI Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and system for zone axis alignment
Номер патента: US20200294759A1. Автор: Zhenxin Zhong. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2020-09-17.