Ejection-material ejection apparatus and imprinting apparatus
Номер патента: US20210362507A1
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): Nobuto Kawahara, Noriyasu Hasegawa, Yoshimasa Araki, Yuichi Iwasaki
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): Nobuto Kawahara, Noriyasu Hasegawa, Yoshimasa Araki, Yuichi Iwasaki
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Ejection material ejecting device and imprint apparatus
Номер патента: US20200341367A1. Автор: Noriyasu Hasegawa,Masahiro Kuri. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-10-29.