Apparatus and method for double-side polishing work
Номер патента: US20200346319A1
Опубликовано: 05-11-2020
Автор(ы): Keiichi Takanashi, Mami Kubota
Принадлежит: Sumco Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-11-2020
Автор(ы): Keiichi Takanashi, Mami Kubota
Принадлежит: Sumco Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus and method for double-side polishing work
Номер патента: US11717931B2. Автор: Keiichi Takanashi,Mami Kubota. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2023-08-08.