Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug
Номер патента: WO2001036341A3
Опубликовано: 06-12-2001
Автор(ы): Lars Christian Herzbach, Steffen Thiel
Принадлежит: Lars Christian Herzbach, Schott Glas, Steffen Thiel, Zeiss Stiftung
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Автор(ы): Lars Christian Herzbach, Steffen Thiel
Принадлежит: Lars Christian Herzbach, Schott Glas, Steffen Thiel, Zeiss Stiftung
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Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zum Bearbeiten einer Oberfläche eines Substrats
Номер патента: DE102023203816A1. Автор: Daniel Rhinow. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-10-31.