Method of forming topology-controlled amorphous carbon polymer film
Номер патента: US12112940B2
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Timothee Julien Vincent Blanquart
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Timothee Julien Vincent Blanquart
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming topology-controlled amorphous carbon polymer film
Номер патента: US11282698B2. Автор: Timothee Julien Vincent Blanquart. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2022-03-22.