Imaging optics, microlithography projection exposure apparatus having same and related methods
Номер патента: US09535337B2
Опубликовано: 03-01-2017
Автор(ы): David R. Shafer, Hans-Juergen Mann
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-01-2017
Автор(ы): David R. Shafer, Hans-Juergen Mann
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Imaging optics and there is the projection exposure for micro-lithography of the type imaging optics
Номер патента: CN102341738B. Автор: 汉斯-于尔根·曼. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2015-11-25.