Semiconductor line feature and manufacturing method thereof
Номер патента: US09437472B2
Опубликовано: 06-09-2016
Автор(ы): Po-Chi WU, Wen-Han Fang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-09-2016
Автор(ы): Po-Chi WU, Wen-Han Fang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor line feature and manufacturing method thereof
Номер патента: US20150243547A1. Автор: Po-Chi WU,Wen-Han Fang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-08-27.