METHOD FOR REMOVING A PERIPHERAL GLUE ZONE WHEN MANUFACTURING A COMPOSITE SUBSTRATE
Номер патента: FR2850390B1
Опубликовано: 14-07-2006
Автор(ы): Bernard Aspar, Olivier Rayssac, Severine Bressot
Принадлежит: Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Soitec SA
Опубликовано: 14-07-2006
Автор(ы): Bernard Aspar, Olivier Rayssac, Severine Bressot
Принадлежит: Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Soitec SA
Method for forming protective film, method for manufacturing patterned substrate, and composition
Номер патента: US20230242787A1. Автор: Hiroyuki Miyauchi,Kazunori Takanashi,Tomoharu KAWAZU,Satoshi Dei,Nao Okumura. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2023-08-03.