RESONANT MEMS LORENTZ-FORCE MAGNETOMETER USING FORCE-FEEDBACK AND FREQUENCY-LOCKED COIL EXCITATION
Номер патента: US20140049256A1
Опубликовано: 20-02-2014
Автор(ы): Smith Eric B., Wahby Riad, Zhou Yan
Принадлежит: Silicon Laboratories Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-02-2014
Автор(ы): Smith Eric B., Wahby Riad, Zhou Yan
Принадлежит: Silicon Laboratories Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Resonant MEMS lorentz-force magnetometer using force-feedback and frequency-locked coil excitation
Номер патента: US09588190B2. Автор: Yan Zhou,Eric B. Smith,Riad Wahby. Владелец: Silicon Laboratories Inc. Дата публикации: 2017-03-07.