Mems devices having support structures and methods of fabricating the same

01-02-2007 дата публикации

Номер:

CA2616268A1

Автор: Clarence Chui, Jeffrey B. Sampsell, Manish Kothari, Mark W. Miles, Ming-Hau Tung, Suryaprakash Ganti, Teruo Sasagawa, Wonsuk Chung

Принадлежит: Individual

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B81 B81B B81B2 B81B22 B81B220 B81B2201 B81B2201/B81B2201/0 B81B2201/04 B81B2201/047 B81B2203 B81B2203/B81B2203/0 B81B2203/03 B81B2203/030 B81B2203/0307 B81B2203/05 B81B2203/053 B81B3 B81B3/B81B3/0 B81B3/00 B81B3/007 G G0 G02 G02B G02B2 G02B26 G02B26/G02B26/0 G02B26/00 G02B26/001

IPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J3 G01J3/G01J3/2 G01J3/26 G02 G02B G02B2 G02B26 G02B26/G02B26/0 G02B26/00 G02B26/001 G02F G02F1 G02F1/G02F1/2 G02F1/21

Получить PDF