Sample preparation method and apparatus

22-10-2001 дата публикации

Номер:

JP3221797B2

Автор: 亨石谷, 俊彦中田, 博司山口, 文和伊藤, 朗嶋瀬, 隆上村

Принадлежит: HITACHI LTD

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N1/G01N1/3 G01N1/32 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/30 H01J2237/304 H01J2237/3046 H01J2237/30466 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114 H01J2237/317 H01J2237/3174 H01J2237/31745 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/22 H01J37/226 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/300 H01J37/3005 H01J37/304 H01J37/305 H01J37/3056 H01L H01L2 H01L22 H01L22/H01L22/0 H01L22/00

IPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N1/G01N1/3 G01N1/32 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/30 H01J37/304 H01J37/31