Patent JPS6055990B2

07-12-1985 дата публикации

Номер:

JPS6055990B2

Автор: Kazutoyo Narita, Noboru Kawasaki, Tadashi Sakagami

Принадлежит: HITACHI LTD

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L22 H01L222 H01L2224 H01L2224/H01L2224/0 H01L2224/01 H01L23 H01L23/H01L23/0 H01L23/04 H01L23/049 H01L24 H01L24/H01L24/0 H01L24/01

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J5 H01J5/H01J5/2 H01J5/28 H01L H01L2 H01L23 H01L23/H01L23/0 H01L23/04 H01L23/049 H01L29 H01L29/H01L29/8 H01L29/86 H01L29/862