Method for making specimen and apparatus thereof

01-12-1998 дата публикации

Номер:

KR0155242B1

Автор: 다까시 가미무라, 도시히꼬 나까따, 도오루 이시따니, 아끼라 시마세, 후미까즈 이또, 히로시 야마구찌

Принадлежит: 가나이 쯔또무, 가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N1/G01N1/3 G01N1/32 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/30 H01J2237/304 H01J2237/3046 H01J2237/30466 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114 H01J2237/317 H01J2237/3174 H01J2237/31745 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/22 H01J37/226 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/300 H01J37/3005 H01J37/304 H01J37/305 H01J37/3056 H01L H01L2 H01L22 H01L22/H01L22/0 H01L22/00

IPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N1/G01N1/3 G01N1/32 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/30 H01J37/304 H01J37/31

Получить PDF