직가열 방식의 플라즈마 처리 장치

12-07-2017 дата публикации

Номер:

KR101748251B1

Автор: 김용수, 김현종, 이동원, 이정빈, 장병열, 정종우, 최대규, 최용재

Принадлежит: 주식회사 뉴파워 프라즈마

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Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/022 H01L21/0227 H01L21/02274 H01L21/2 H01L21/20 H01L21/205 H01L3 H01L31 H01L31/H01L31/1 H01L31/18 H01L31/186 H05 H05B H05B7 H05B7/H05B7/0 H05B7/02 H05B7/1 H05B7/18 Y Y0 Y02 Y02E Y02E1 Y02E10 Y02E10/Y02E10/5 Y02E10/50 Y02P Y02P7 Y02P70 Y02P70/Y02P70/5 Y02P70/50

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/4 C23C16/40 C23C16/401 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/022 H01L21/0227 H01L21/02274 H05 H05B H05B7 H05B7/H05B7/0 H05B7/02

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