Apparatus for treating substrate

18-10-2018 дата публикации

Номер:

KR101909478B1

Автор: 문형철

Принадлежит: 세메스 주식회사

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/023 H01L21/0231 H01L21/02315 H01L21/0234 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/306 H01L21/3065 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/6773 H01L21/67739 H01L21/68 H01L21/683 H01L21/6835 H01L21/687 H01L21/6874 H01L21/68742

IPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B3 C30B33 C30B33/C30B33/1 C30B33/12 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/68 H01L21/683 H01L21/6835 H01L21/7 H01L21/78

Получить PDF