Datorstyrt system for tillverkning av integrerade kretsar

28-05-1985 дата публикации

Номер:

SE0000439072B

Автор: G A Caccoma, P P Castrucci, W O Druschel

Принадлежит: Ibm

Контакты:

Номер заявки: 7702444

Дата заявки: 04-03-1977

CPC - классификация

G G0 G05 G05B G05B1 G05B19 G05B19/G05B19/4 G05B19/41 G05B19/418 G05B19/4183 G05B2 G05B22 G05B221 G05B2219 G05B2219/G05B2219/3 G05B2219/31 G05B2219/312 G05B2219/3126 G05B2219/31268 G05B2219/36 G05B2219/365 G05B2219/3652 G05B2219/36523 G05B2219/4 G05B2219/45 G05B2219/450 G05B2219/4502 G05B2219/45026 G05B2219/49 G05B2219/493 G05B2219/4930 G05B2219/49302 Y Y0 Y02 Y02P Y02P9 Y02P90 Y02P90/Y02P90/0 Y02P90/02 Y1 Y10 Y10T Y10T2 Y10T29 Y10T29/Y10T29/4 Y10T29/49 Y10T29/498 Y10T29/4982 Y10T29/49829 Y10T29/5 Y10T29/51 Y10T29/512 Y10T29/5124

IPC - классификация

B B2 B23 B23Q B23Q4 B23Q41 B23Q41/B23Q41/0 B23Q41/00 G G0 G01 G01R G01R3 G01R31 G01R31/G01R31/2 G01R31/26 G01R31/28 G05 G05B G05B1 G05B19 G05B19/G05B19/4 G05B19/41 G05B19/418 G06 G06F G06F1 G06F19 G06F19/G06F19/0 G06F19/00 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/68