Extreme ultraviolet light generating apparatus, extreme ultraviolet light generating method, and electronic device manufacturing method

11-03-2021 дата публикации

Номер:

US20210072646A1

Автор: Kengo Hayashi

Принадлежит: GIGAPHOTON INC

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/2 G03F7/20 G03F7/7 G03F7/70 G03F7/700 G03F7/7002 G03F7/70025 G03F7/7003 G03F7/70033 G03F7/705 G03F7/7055 H H0 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/006 H05G2/008 H1 H10 H10N H10N3 H10N30 H10N30/H10N30/8 H10N30/80

IPC - классификация

H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/2 H01S3/22 H01S3/225 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/008 H05H H05H1 H05H1/H05H1/0 H05H1/06

Получить PDF