SALT, ACID GENERATOR, RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN

24-11-2022 дата публикации

Номер:

US20220372012A1

Автор: ICHIKAWA Koji, KOMURO Katsuhiro, OGUMA Jun

Принадлежит: Sumitomo Chemical Company, Limited

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07D C07D3 C07D30 C07D307 C07D307/C07D307/7 C07D307/77 C07D33 C07D333 C07D333/C07D333/5 C07D333/54 C07D335 C07D335/C07D335/1 C07D335/10 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0045 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0392 G03F7/3 G03F7/32 G03F7/322 G03F7/38 G03F7/4 G03F7/40

IPC - классификация

C C0 C07 C07D C07D3 C07D33 C07D333 C07D333/C07D333/5 C07D333/54 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/03 G03F7/038 G03F7/039 G03F7/0397

Получить PDF