Method of shallow trench isolation

18-11-2003 дата публикации

Номер:

US6649488B2

Автор: Dae Heok Kwon, Jae Suk Lee

Принадлежит: Dongbu Electronics Co Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/7 H01L21/76 H01L21/762 H01L21/7622 H01L21/76224

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/7 H01L21/76 H01L21/762 H01L21/7622 H01L21/76224 H01L21/763

Получить PDF