Measurement of overlay offset in semiconductor processing

28-12-2010 дата публикации

Номер:

US7858404B2

Автор: Chih-Ming Ke, Te-Chih Huang, Tsai-Sheng Gau

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/706 G03F7/7063 G03F7/70633 H H0 H01 H01L H01L2 H01L22 H01L22/H01L22/1 H01L22/12

IPC - классификация

G G0 G01 G01M G01M1 G01M11 G01M11/G01M11/0 G01M11/02 G01M11/026 G01M11/0264 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/4 G03F1/42 H H0 H01 H01L H01L2 H01L22 H01L22/H01L22/2 H01L22/20

Получить PDF