Corrector for axial aberrations of a particle-optical lens

23-09-2014 дата публикации

Номер:

US8841630B2

Автор: Alexander Henstra

Принадлежит: FEI Co

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/1 H01J2237/15 H01J2237/153 H01J2237/1534 H01J2237/2 H01J2237/28 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/15 H01J37/153 H01J37/2 H01J37/26

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J3/H01J3/1 H01J3/12 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/15 H01J37/153

Получить PDF