Systems, apparatus, and methods for monitoring plate temperature for semiconductor manufacturing

17-10-2024 дата публикации

Номер:

WO2024215376A1

Автор: Ashur J. Atanos, NIMROD SMITH, TAO Sheng, Zhepeng Cong

Принадлежит: Applied Materials, Inc.

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/4 C23C16/45 C23C16/458 C23C16/46 C23C16/5 C23C16/52 G G0 G01 G01J G01J5 G01J5/G01J5/0 G01J5/00 G01J5/000 G01J5/0007 G01J5/08 G01J5/080 G01J5/0801 G01J5/087 G01J5/0879

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/4 C23C16/46 C23C16/5 C23C16/52 G G0 G01 G01J G01J5 G01J5/G01J5/0 G01J5/08

Получить PDF