Source optimization for image fidelity and throughput
Номер патента: US7245354B2
Опубликовано: 17-07-2007
Автор(ы): Yuri Granik
Принадлежит: Mentor Graphics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-07-2007
Автор(ы): Yuri Granik
Принадлежит: Mentor Graphics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Source optimization for mitigating mask error impact
Номер патента: WO2024094385A1. Автор: Youping Zhang,Duan-Fu Stephen Hsu,Jialei TANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-05-10.