Methods and Systems for Detecting Repeating Defects on Semiconductor Wafers Using Design Data
Номер патента: US20150012900A1
Опубликовано: 08-01-2015
Автор(ы): Bhaskar Kris, Fang Chwen-Jiann, III John Raymond, Jordan, Kulkarni Ashok, Lynch Graham Michael, Shifrin Eugene
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-01-2015
Автор(ы): Bhaskar Kris, Fang Chwen-Jiann, III John Raymond, Jordan, Kulkarni Ashok, Lynch Graham Michael, Shifrin Eugene
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor manufacturing method and tool
Номер патента: US09772561B2. Автор: Yung-Yao Lee,Ying Ying Wang,Heng-Hsin Liu,Yi-Ping Hsieh. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-26.