METHOD AND APPARATUS TO REDUCE CONTAMINATION OF PARTICLES IN A FLUIDIZED BED REACTOR
Номер патента: US20150017787A1
Опубликовано: 15-01-2015
Автор(ы): Miller Matthew J., Spangler Michael V.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-01-2015
Автор(ы): Miller Matthew J., Spangler Michael V.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electronic device manufacturing systems, methods, and apparatus for heating substrates and reducing contamination in loadlocks
Номер патента: WO2018169710A1. Автор: Andrew Nguyen,Adam J. WYATT,Edward Ng. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2018-09-20.