소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
Номер патента: KR20200049949A
Опубликовано: 11-05-2020
Автор(ы): 김광섭, 김재현, 박현성, 이승모, 장봉균, 최병익
Принадлежит: 한국기계연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-05-2020
Автор(ы): 김광섭, 김재현, 박현성, 이승모, 장봉균, 최병익
Принадлежит: 한국기계연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Plasma generation device, method of controlling characteristic of plasma, and substrate processing device using same
Номер патента: US20160020073A1. Автор: Jong Sik LEE,Han Saem Lee,Hyun Jun Kim,Jeong Hee CHO,Hee Sun Chae. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2016-01-21.