Process for the deposition of metals or oxides on a metallic support by cathodic sputtering and applications thereof
Номер патента: US3773639A
Опубликовано: 20-11-1973
Автор(ы): R Masotti
Принадлежит: Progil SARL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-11-1973
Автор(ы): R Masotti
Принадлежит: Progil SARL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Process for low temperature atomic layer deposition of Rh
Номер патента: US20020197814A1. Автор: Stefan Uhlenbrock,Eugene Marsh. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-12-26.