기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
Номер патента: KR20230069825A
Опубликовано: 19-05-2023
Автор(ы): 아키노리 시마무라, 히로키 오카
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-05-2023
Автор(ы): 아키노리 시마무라, 히로키 오카
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Transfer apparatus, cleaning module, and substrate processing apparatus
Номер патента: US20240001407A1. Автор: Kenichi Kobayashi,Ayumu Saito,Asagi Matsugu,Akihiro Yazawa,Hideharu Aoyama,Manato Furusawa,Yusuke SASAYA,Yasuyuki MIYASAWA,Tsuyoshi SOMA,Keiichi NOJO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-01-04.