Substrate transfer system and atmospheric transfer module
Номер патента: US20240047254A1
Опубликовано: 08-02-2024
Автор(ы): Norihiko Amikura, Toshiaki Toyomaki
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-02-2024
Автор(ы): Norihiko Amikura, Toshiaki Toyomaki
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate transfer system and atmospheric transfer module
Номер патента: US11705355B2. Автор: Norihiko Amikura,Toshiaki Toyomaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.