신규한 트리실릴아민 유도체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 실리콘 함유 박막
Номер патента: KR101720017B1
Опубликовано: 27-03-2017
Автор(ы): 김도연, 김명운, 김성기, 김종현, 석장현, 양병일, 이상도, 이상익, 장세진
Принадлежит: (주)디엔에프
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Novel cyclodisilazane derivatives, method for manufacturing thereof and silicon-containing thin film using the same
Номер патента: KR20150083045A. Автор: 이상익,김명운,김종현,이상도,장세진,김성기,김도연,석장현,양병일. Владелец: (주)디엔에프. Дата публикации: 2015-07-16.