LIQUID IMMERSION MEMBER, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
Номер патента: US20190049855A1
Опубликовано: 14-02-2019
Автор(ы): ODANAKA Kenyo, SATO Shinji
Принадлежит: NIKON CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-02-2019
Автор(ы): ODANAKA Kenyo, SATO Shinji
Принадлежит: NIKON CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Liquid immersion type lens system, projection exposure apparatus, and device fabricating method
Номер патента: US20060164616A1. Автор: Noriaki Okada. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2006-07-27.