Verfahren und Anordnung zum Schutz eines Rohrtargets eines Rohrmagnetrons vor Korrosion
Номер патента: DE102012107448A1
Опубликовано: 20-02-2014
Автор(ы): Dr. Stiegler Jörg, Iordan Kossev, Johannes Löhnert
Принадлежит: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-02-2014
Автор(ы): Dr. Stiegler Jörg, Iordan Kossev, Johannes Löhnert
Принадлежит: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Sputtering target, magnetic film and method for producing magnetic film
Номер патента: US20210172055A1. Автор: Masayoshi Shimizu,Manami Masuda,Akira Shimojyuku. Владелец: JX Nippon Mining and Metals Corp. Дата публикации: 2021-06-10.