A method of impedance matching of a tunable antenna module
Номер патента: KR101714058B1
Опубликовано: 08-03-2017
Автор(ы): 박동찬
Принадлежит: 엘지이노텍 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-03-2017
Автор(ы): 박동찬
Принадлежит: 엘지이노텍 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Systems and methods for fast control of impedance associated with an output of a plasma source
Номер патента: WO2024091857A1. Автор: Sanghyeon PARK. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-05-02.